グリーンデバイス

工業製品の製造過程における環境負荷の低減を実現するデバイス・技術の総称です。 トクデンの過熱蒸気発生装置では、水と電気のみで蒸気を発生する点、製品の製造過程で使用する薬品の減量・無害化が期待できる点でグリーンデバイスとしての役割を期待されております。

半導体

半導体とは、「導体」「絶縁体」の中間的な役割を果たす物質のことです。 過熱蒸気は半導体の製造過程において、レジスト除去や薬品洗浄などの目的で過熱蒸気が活躍することが期待されています。

アルミニウム

アルミニウムとは、原子番号13の元素のこと。常温常圧で良い熱伝導性・電気伝導性を持ち、軽量であるため、実用金属として広く用いられております。 過熱蒸気は低酸素状態の為、アルミニウムを酸化させることなく高温状態にすることが可能です。（UPSS Dシリーズの場合、1200℃の過熱蒸気の発生が可能です。）

脱脂

工業的な意味では、製品の製造過程で使用される、鉱物油を除去する意味で使用されることが多く「脱脂」の効率化、高速化を実現する技術として過熱蒸気が注目されております。

また、2014年にある研究機関が行った「脱脂」の効率化や省エネ化を目指した研究報告では2年間の研究で高速化・効率化等の目標数値を達成したとの報告がおこなわれました。